在半导体制造过程中，纯净度是决定产品性能的关键因素之一。总有机碳分析仪（TOC）作为高精度检测工具，在半导体材料及制程中发挥着重要的作用。无论是超纯水、化学品，还是气体、材料的有机污染物检测，TOC分析仪都能提供快速、准确的测量，确保生产环境的洁净度。

01.超纯水检测

半导体制造对超纯水的要求极高，TOC分析仪可实时监测水中微量有机碳含量，确保水质符合工艺标准。岛津 TOC-1000e采用UV氧化-电导率测量方式，具备超高灵敏度，非常适合进行超纯水的品质管理。

TOC-1000e

使用TOC-1000e，以10分钟为周期在线测量超纯水。测量结果日报如下表所示。日报中显示测量时间、TOC浓度值、电导率、温度的一览表。从TOC 结果的趋势图中可以看出，TOC 浓度稳定在 4.7~ 5.0 ppb 的范围内。

日报表

TOC测量值的趋势图

通过实时在线监测，可以及时发现并排除潜在污染源，保障生产环境的安全与稳定。

02.高纯度化学品过氧化氢的纯度检测

在半导体制造过程中，高纯过氧化氢（H₂O₂）广泛用于清洗、刻蚀、表面处理和化学机械抛光等环节，这些高纯化学品中的微量有机杂质可能会严重影响产品质量，因此需要严格控制试剂中的总有机碳含量。

岛津 TOC-L CPH总有机碳分析仪

ü  采用680℃催化氧化燃烧，由于反应温度几乎在所有盐分的熔点以下，盐分不会熔融，仅以结晶形式存留在催化剂上。

ü  配置高灵敏度催化剂，能有效测定高纯试剂中低浓度水平的 TOC 含量。

ü  八通阀设计，具备在线加酸去除无机碳和稀释功能，使用方便灵活，可精确测定高纯化学品中的 TOC 含量。

岛津TOC-L CPH总有机碳分析仪

样品无需处理，直接上机分别测试总碳(TC)及无机碳(IC)，利用差减法获得总有机碳含量TOC=TC-IC。 

每个样品重复测试2次，样品测试轮廓图及结果如下：

双氧水中TOC测试结果

TOC总有机碳分析仪是半导体制造中重要的检测工具，而岛津TOC分析仪凭借其高灵敏度、快速响应和智能化操作，成为半导体行业用户的不错之选。

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